全自動(dòng)掃描電鏡采用統(tǒng)一的優(yōu)良電子光學(xué)技術(shù),具有相同的分辨率性能和圖像質(zhì)量,涵蓋市場(chǎng)用戶各種配置需求,可升級(jí)為亮度提高10倍的更高級(jí)的電子槍?zhuān)瑢?shí)現(xiàn)納米尺度形貌快速表征,樣品臺(tái)均采用先進(jìn)優(yōu)中心結(jié)構(gòu),方便傾斜復(fù)位,微區(qū)多角度原位分析。
全自動(dòng)掃描電鏡隨時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī),操作分析靈活高效率,使用維護(hù)簡(jiǎn)便很經(jīng)濟(jì),無(wú)需獨(dú)立地線,可移動(dòng),集成多項(xiàng)高新科技成果,具有的易設(shè)置和易使用性,是一款安裝于電鏡鏡筒上、采用氣體冷卻的冷凍制備系統(tǒng),具備樣本快速冷凍、處理、轉(zhuǎn)移的所有裝置。
掃描電鏡冷凍制樣腔室配備渦輪分子泵,內(nèi)置樣本斷裂、升華刻蝕、濺射鍍膜的工具,樣本隨后經(jīng)冷凍傳輸系統(tǒng)到掃描電鏡的冷臺(tái)進(jìn)行觀察,制樣腔室和SEM腔室的冷捕獲能力確保全程處于冷凍狀態(tài),樣本的處理時(shí)間在5-10分鐘,通過(guò)裝在寬敞的工作站上的大且直觀的觸摸屏實(shí)現(xiàn)的,操作者可隨時(shí)訪問(wèn)和控制所有操作參數(shù)。
掃描電鏡整體系統(tǒng)的突出特點(diǎn)是可視性,冷制備腔室和SEM腔室裝有CCD,其內(nèi)部圖像被顯示在控制屏上,制備腔室有五個(gè)觀察窗口,方便觀察樣品和腔室內(nèi)部的情況,圖像可布滿整屏,允許用戶自定義方案,可快速輸入和儲(chǔ)存方案以便隨時(shí)訪問(wèn)調(diào)用,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)濺射及自動(dòng)升華刻蝕的功能,并且具有屏幕幫助及操作提示功能,通過(guò)CCD相機(jī),屏幕可顯示制備腔室和掃描電鏡腔室內(nèi)部的圖像。