掃描式電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精細(xì)儀器。具有景深大、分辨率高，成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。
掃描式電子顯微鏡具有可測(cè)樣品種類豐富，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前，掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究，僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。
掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子槍種類可分為三種：場(chǎng)發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭。其中，場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡對(duì)真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限；而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中，我們不僅需要對(duì)樣品進(jìn)行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對(duì)樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析，所以熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛。
可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量，如亮度及反差自動(dòng)保持，試樣傾斜角度校正，圖象旋轉(zhuǎn)，或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度，以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器，可在熒光屏上同時(shí)觀察放大倍數(shù)不同的圖象。
